去离子水(deionized water)是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质,主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的**物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
在半导体行业中,去离子水被称为“**纯水”或是“18兆欧水”。
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